Bahaya Listrik Statis di Ruang Bersih Mikroelektronika
Peningkatan listrik statis akan menurunkan tingkat kualitas produk elektronik, interferensi elektromagnetik akan mengganggu pengoperasian peralatan otomatis, dan adsorpsi elektrostatik akan meningkatkan kesulitan pengumpulan partikel permukaan, sehingga pembangkitan listrik statis juga perlu dikendalikan. Karena muatan elektrostatik sebenarnya menarik kontaminan ke permukaan produk atau alat, adsorpsi elektrostatis menjadi fokus perhatian di ruangan bersih. Misalnya, ketika wafer berukuran 4-inci diisi dengan daya 1KV, gaya adsorpsi untuk partikel berdiameter 1 mikron akan mencapai 830,000 pon per inci persegi. Oleh karena itu, adsorpsi elektrostatis antara benda dan partikel bermuatan akan lebih kuat dibandingkan gaya gravitasi, gaya aerodinamis, dan gaya adhesi.
Manifestasi utama bahaya listrik statis pada bengkel bersih di industri elektronik meliputi:
1. Menyerap debu. Karena adsorpsi elektrostatik, partikel udara di ruangan bersih teradsorpsi pada permukaan komponen elektronik dan dinding, sehingga mempengaruhi kualitas dan kebersihan produk. Listrik statis juga menjadi sumber debu baru di ruangan bersih.
2. Menyebabkan kebakaran dan ledakan. Sejumlah besar gas, cairan, dan pelarut organik yang mudah terbakar dan meledak digunakan di ruangan bersih di industri elektronik. Listrik statis dapat menjadi sumber penyalaan gas (cairan) dan pelarut tersebut, sehingga menyebabkan kebakaran atau ledakan.
3. Pelepasan corona atau percikan api mengeluarkan suara bising dan mengganggu peralatan elektronik dan komponen elektronik.
4. Menghasilkan medan listrik elektrostatik yang menyebabkan korsleting, kelelahan atau kerusakan pada komponen elektronik.
Oleh karena itu, peningkatan berkelanjutan teknologi di industri mikroelektronika juga merupakan wujud dari peningkatan berkelanjutan teknologi antistatis. Kandungan sistem proteksi elektrostatik menjadi semakin melimpah. Selain sistem perlindungan personel konvensional (pakaian anti-statis, sepatu anti-statis, tali pergelangan tangan anti-statis, dll.), Selain sistem perlindungan perangkat keras seperti peralatan eliminasi statis, yang perlu ditambahkan lebih lanjut adalah pembentukan perangkat lunak sistem perlindungan elektrostatik.