Analisis listrik statis di kamar bersih
① Sejumlah besar bahan dekoratif dielektrik insulasi tinggi, lantai, dinding, pintu, langit-langit, partisi, meja kerja, kursi, dll., Bahan-bahan ini mudah diisi oleh gesekan dan tidak mudah dibocorkan dan dilepaskan.
Lantai plastik ESD di ruang fotolitografi adalah 5 0 0V ~ 1000V, lantai plastik di ruang difusi adalah 500V ~ 1500V, lantai ubin juga 500V ~ 1500V, wallpaper plastik adalah 700V, langit -langit plastik adalah 0V ~ 1000V, dan permukaan kulit yang bergerak logam adalah 500V ~ 500V ~ 3000V.
② Ketika orang mengenakan pakaian bersih, sepatu, berjalan atau bekerja, mereka akan menghasilkan listrik statis ketika mereka bergesekan dengan berbagai bahan dan peralatan, dan orang, pakaian, dan sepatu akan dikenakan biaya.
Orang-orang yang mengenakan pakaian nilon ESD dan sepatu sol karet plastik ESD berjalan perlahan di lantai yang bersih, dan mereka membawa tegangan statis 7000V ~ 8000V. Berjalan di lantai vinil dapat membawa 1200V (10%~ 20%RH), 250V (65%~ 90%RH) tegangan statis, berjalan di atas karpet dapat membawa 35000V (10%~ 20%RH), 1500V (65%~ 90%RH), dan pakaian kerja yang dikenakan oleh pekerja pada jalur perakitan chip dapat mencapai 10kV.
③ Aliran udara pendingin udara melewati filter primer, filter sedang, dan filter efisiensi tinggi, dan aliran udara outlet murni bermuatan secara statis. Suplai dan outlet pengembalian pelat aluminium adalah sekitar 500 ~ 1000V.
④ Sejumlah besar peralatan isolasi, peralatan, dan alat juga merupakan sumber penting muatan statis. Jalur produksi perakitan wafer: Kotak pemuatan wafer 35kV, penutup kaca organik 8kV, Produk Kuarsa 1.5kV, baki wafer 6kV, penutup akrilik 20kV, meja atas 10kV, kabinet penyimpanan plastik 30kV, kotak pemuatan kristal serat kaca yang meluncur di atas meja top polypropylene. Carries 10kV. Singkatnya, semakin tinggi persyaratan kebersihan ruang bersih, semakin serius muatan statisnya.