Ide dasar dan pendekatan teknis untuk perlindungan elektrostatik
Pelepasan muatan listrik statis dapat menyebabkan kerusakan pada perangkat, tetapi dengan mengambil perlindungan ESD yang tepat dan tepat dan tindakan kontrol untuk membangun sistem ESD, ESD dapat dihilangkan atau dikendalikan untuk meminimalkan kerusakan pada komponen. Ada dua ide dasar untuk perlindungan elektrostatik dan kontrol perangkat sensitif:
1. (1) Mencegah akumulasi listrik statis di tempat-tempat di mana pembumian dapat terjadi, dan mengambil langkah-langkah tertentu untuk menghindari atau mengurangi terjadinya pelepasan muatan listrik statis, atau mengadopsi metode "bocor sambil menghasilkan sisi" untuk menghilangkan akumulasi muatan listrik . Tuduhan dikendalikan sejauh tidak menyebabkan kerusakan.
1. (2) Akumulasi akumulasi tagihan dengan cepat dan andal.
2.1 Metode Kontrol Proses
Dirancang untuk menghasilkan muatan statis sesedikit mungkin selama proses produksi. Untuk tujuan ini, langkah-langkah diambil dari aspek aliran proses, pemilihan material, instalasi peralatan dan manajemen operasi untuk mengontrol pembangkitan dan akumulasi listrik statis, dan untuk menekan potensi elektrostatik dan kemampuan pelepasan elektrostatik agar tidak melebihi tingkat kerusakan. Seperti dalam proses pembuatan semikonduktor, resistivitas air deionisasi untuk pembilasan harus dikontrol setelah proses pembentukan persimpangan dangkal dari perangkat berkecepatan tinggi selesai. Meskipun semakin tinggi resistivitas, semakin baik efek pembersihan, tetapi semakin tinggi resistivitas, semakin tinggi listrik statis yang dihasilkan pada chip. Oleh karena itu, umumnya dikendalikan pada tingkat yang sedikit lebih tinggi dari 8 MΩ, dan tidak bisa 16-17 MΩ untuk proses awal. Selain itu, dalam pilihan bahan, bahan kemasan harus menggunakan bahan anti-statis, cobalah untuk menghindari bahan polimer yang tidak diolah.
2.2 Metode kebocoran
Ini dirancang untuk menghilangkan listrik statis melalui kebocoran. Biasanya, pembumian elektrostatik adalah kebocoran muatan listrik ke bumi; ada juga metode peningkatan konduktivitas listrik objek untuk menyebabkan tanah bocor di sepanjang permukaan atau di dalam objek, seperti menambahkan agen elektrostatik atau meningkatkan kelembaban. Yang paling umum adalah tali pergelangan tangan anti-statis yang dikenakan oleh staf dan tiang pentanahan statis.
2.3 Metode perisai elektrostatik
Menurut prinsip perisai elektrostatik, dapat dibagi menjadi dua jenis: pelindung medan internal dan pelindung medan eksternal. Ukuran khusus adalah untuk mengisolasi benda bermuatan dari benda lain dengan penutup layar yang dibumikan, sehingga medan listrik benda yang dikenakan tidak akan memengaruhi benda lain di sekitarnya (pelindung medan dalam); terkadang penutup berpelindung digunakan untuk mengelilingi objek yang terisolasi, sehingga dilindungi dari medan listrik eksternal (pelindung medan). Misalnya, paket perangkat GaA menggunakan casing logam atau film logam.
2.4 Metode Netralisasi Senyawa
Ini bertujuan untuk menghilangkan muatan statis melalui netralisasi kompleks. Penggunaan eliminator pentanahan untuk menghasilkan kompleks dengan ion bermuatan pada benda bermuatan untuk mencapai netralisasi. Secara umum, ketika benda yang diisi adalah isolator, karena muatan listrik tidak dapat mengalir pada isolator, metode pembumian tidak dapat digunakan untuk membocorkan muatan listrik. Dalam hal ini, eliminator antistatik harus digunakan untuk menghasilkan ion yang berbeda untuk dinetralkan. Metode ini digunakan untuk menghilangkan muatan elektrostatik yang dihasilkan pada ban berjalan.
2.5 Tindakan bersih
Dirancang untuk menghindari pembuangan yang terputus-putus. Untuk tujuan ini, permukaan benda bermuatan dan benda-benda di sekitarnya harus dijaga sehalus dan sebersih mungkin untuk mengurangi kemungkinan keluarnya cairan yang terputus-putus.