Bahaya tegangan elektrostatik pada semikonduktor dan jalur produksi IC
1. Tegangan elektrostatik pada jalur produksi semikonduktor dan IC
1 memakai pakaian nilon, sepatu dasar plastik perlahan bergerak di lantai yang bersih, tubuh manusia akan membawa tegangan 7KV-8KV
2 Ketika pembawa kristal yang terbuat dari serat kaca meluncur di atas meja polypropylene, mudah untuk menghasilkan listrik statis 10KV.
3 jalur perakitan wafer: wafer 5KV, kotak pemuatan wafer 35KV, pakaian kerja 10KV, desktop 10KV, penutup plexiglass 8KV, kristal kuarsa 1.5KV, nampan wafer 6KV
4 lantai plastik litografi 500V-1000V, lantai kotak logam juga 500V-1000V, ruang difusi lantai plastik 500V-1500V lantai ubin juga 500V-1500V, permukaan dinding plastik sekitar 700V, langit-langit plastik 0-1000V, lubang udara plat aluminium, kembali lubang udara 500V-1000V, permukaan kursi kulit bergerak logam 500V-3000V
2. Bahaya elektrostatik pada jalur produksi semikonduktor dan IC
1 Bahaya gaya Coulomb elektrostatik: Debu dan kotoran yang diadsorpsi oleh gaya Coulomb elektrostatik dapat membawa komponen, yang dapat menyebabkan kebocoran atau korsleting, yang dapat mengganggu kinerja dan sangat mengurangi hasil. Jika ukuran partikel debu> 100 μm, lebar kawat aluminium sekitar 100 μm, dan ketebalan film kurang dari 50 μm, produk kemungkinan besar akan dibuang. Ini sebagian besar terjadi dalam proses pembersihan korosi, photolithography, pengelasan spot dan pengemasan.
2 Bahaya yang disebabkan oleh pelepasan muatan elektrostatik: Jika ada ribuan puluhan ribu volt benda berpotensi tinggi, pelepasan berbentuk pulsa atau pelepasan percikan api, ketika ada arus pelepasan yang sangat tinggi yang mengalir ke bumi, puncak arus yang menyerupai pulsa terbentuk pada 20A. , menyebabkan dampak yang cukup besar, pelepasan muatan elektrostatik (ESD) juga disertai dengan emisi gelombang elektromagnetik, yang akan menyebabkan berbagai bahaya.
A, MOSIC, dan perangkat semikonduktor lainnya akan mengalami pelepasan muatan elektrostatis (ESD) atau setengah rusak. Gerbang dari transistor efek medan MOS dikeluarkan dari film oksida, dan sebuah film oksida diselingi antara gerbang dan substrat. Ketika tegangan antara gerbang dan substrat melebihi nilai tertentu, film oksida dipecah, jika MOSIC, maka semua dihapus. Ketika tegangan diterapkan ke UB = 50-100V, film oksida akan dipecah karena kapasitansi gerbang sangat kecil (sekitar beberapa picofarad), dan resistansi input sangat tinggi (sekitar 1014Ω atau lebih). Sejumlah kecil muatan akan menghasilkan tegangan yang sangat tinggi, dan muatan akan sulit untuk tenggelam. Selama lebih besar dari 50V (tidak ada perlindungan), itu akan terbakar. Oleh karena itu, selama orang tersebut menyentuh kisi-kisi, komponen akan rusak, karena itu adalah hal biasa bagi orang untuk mengisi daya lebih dari 50V. .
Kita dapat memahami sensitivitas sirkuit terpadu terhadap listrik statis. Perbedaan antara berbagai chip adalah bahwa mereka dapat menahan nilai tegangan statis yang berbeda. Dalam kondisi praktis, tegangan statis hampir 20V secara langsung menghubungi perangkat untuk menghancurkan atau menurunkan kinerja.
Pelepasan muatan elektrostatis merusak komponen-komponen untuk membuat seluruh papan sirkuit cetak tidak berguna, mengakibatkan kerugian ekonomi;
Kebisingan pelepasan muatan elektrostatik menyebabkan kegagalan fungsi atau kerusakan peralatan dan pelepasan tidak langsung. Hasil pengukuran pelepasan kapasitor, selain menghasilkan pulsa besar arus transien, juga menghasilkan kebisingan yang kuat di beberapa megahertz atau bahkan ratusan hertz. Dalam beberapa tahun terakhir, penelitian dasar tentang kerusakan komputer yang disebabkan oleh kebisingan pelepasan muatan listrik statis telah membuat kemajuan besar.
Ketika gelombang elektromagnetik yang dihasilkan selama pelepasan memasuki penerima, kebisingan dihasilkan, yang mengganggu sinyal untuk mengurangi kualitas informasi atau menyebabkan kesalahan informasi.
3, bahaya induksi elektrostatik
Objek yang diinduksi oleh listrik statis sama dengan benda bermuatan, dan ada fenomena elektrostatik dan fenomena pelepasan. Jika hambatan objek penginderaan adalah konduktor kecil yang baik, percikan api akan terjadi dan menyebabkan kerusakan.
A. Di bengkel operasi produksi.
Di sekitar peralatan dan saluran tegangan tinggi, ketika personel mengoperasikan pengelasan, perangkat MOS atau MOSSI, karena induksi elektrostatik, mudah menyebabkan pelepasan elektrostatik dari tubuh manusia ke perangkat, sehingga merusak perangkat.
B. Aliran udara AC (aliran ion) yang diangkut oleh pipa setara dengan pengisian ketika tubuh manusia berhembus. Ketika tubuh manusia bersentuhan dengan komponen sensitif, pelepasan muatan listrik statis akan memecah perangkat yang rusak.
4. Bahaya elektrostatik terhadap proses produksi peralatan elektronik
Semua aspek produksi mesin akan menderita kerusakan elektrostatik. Tautan utama meliputi: pengadaan dan transportasi perangkat; inspeksi dan penerimaan perangkat ke pabrik; penyimpanan dan pengambilan perangkat; penyisipan dan penyolderan perangkat; perakitan dan inspeksi produk; pengemasan dan pengiriman produk.
Selain kerusakan listrik statis selama produksi komponen elektronik dan peralatan elektronik, itu juga tunduk pada listrik statis selama penggunaan produk. Singkatnya, kerusakan yang disebabkan oleh listrik statis cukup untuk menyebabkan kinerja perangkat elektronik dan perangkat elektronik menjadi tidak selaras, dan kerusakan pada perangkat dan perangkat elektronik tidak dapat diabaikan.