Peralatan pemurnian apa yang terutama dipasang di bengkel pemurnian bebas debu?
Pertama, sistem asupan udara dari lokakarya pemurnian bebas debu harus dipasang dengan kotak filter udara segar, AC pemurnian pusat (pendingin udara pemurnian pusat harus dibagi menjadi tiga bagian filter: Efisiensi Primer/Medium/Tinggi), dan port pasokan udara efisiensi tinggi di ujungnya. Kotak penguat pemurnian juga dipasang bila perlu.
Kedua, sistem udara kembali dari lokakarya pemurnian bebas debu harus dipasang dengan port udara kembali, filter utama, dan kotak udara pengembalian efisiensi sedang.
Ketiga, sebelum memasuki lokakarya pemurnian bebas debu, masukkan zona buffer terlebih dahulu. Pintu zona buffer dilengkapi dengan interlock elektronik, dan lemari penyimpanan bersih dan pembersih udara ditempatkan di area yang diubah. Ketiga, orang dan barang yang memasuki lokakarya pemurnian bebas debu harus melewati kamar mandi udara, kamar mandi kargo, dan jendela transfer terutama mentransfer barang-barang kecil.
Keempat, dalam bengkel pemurnian bebas debu, meja kerja laminar aliran vertikal, kap laminar aliran (FFU), gudang bersih (gudang kerja bersih yang dapat dipindahkan), dan pembersih diri dipasang di area lokal yang perlu mencapai level 10-1000. Untuk mengukur kebersihan ruang bersih, penghitung partikel debu laser digunakan.