Kontrol statis ruang bersih
(1) Prinsip dasar kontrol statis
1 Tentukan tingkat kontrol statis
2 Minimalkan generasi muatan statis
3 Metode ventilasi dan netralisasi mempercepat pembuangan muatan statis dan mencegah akumulasi listrik statis
4 Lindungi produk dari kerusakan ESD
(2) Tentukan tingkat kontrol statis
1 Komponen, komponen, dan peralatan penilaian sensitivitas elektrostatik
Level 1: rentan terhadap kerusakan dari tegangan elektrostatik 0-1999V
Level 2: rentan terhadap kerusakan dari tegangan elektrostatik 2000-3999V
Level 3: rentan terhadap kerusakan dari tegangan elektrostatik 4000-5999V
Jika tegangan statis sensitif lebih besar dari 16000V, maka tidak perlu mengambil tindakan anti-statis.
2 Klasifikasi area kerja perlindungan elektrostatik
Kelas A: Biarkan potensi elektrostatik ke ground tidak melebihi ± 100V
Kelas B: Biarkan potensi elektrostatik ke ground tidak melebihi ± 1000V
Dalam rekayasa aktual, potensial elektrostatik tidak lebih dari 100V, 500V, 1000V dan komponen lainnya, komponen dan peralatan level tegangan sensitif statis 3.
(3) Minimalkan generasi muatan statis
Ini adalah langkah pertama dalam mengendalikan listrik statis tiga langkah. Dalam lingkungan kerja yang bersih ini, langkah terbaik adalah:
1 Coba gunakan peralatan serupa untuk mengurangi muatan elektrostatik yang dihasilkan selama proses pemisahan gesekan kontak;
2 Coba gunakan peralatan yang menghantarkan listrik statis atau bahan disipatif statis untuk mengurangi akumulasi muatan statis yang dihasilkan oleh proses pemisahan gesekan kontak;
3 Cobalah untuk mengurangi proses produksi dengan mengurangi gesekan kontak dan menghasilkan muatan statis.
(4) Rilis dan netralisasi
Ini adalah langkah kedua dalam mengendalikan triode listrik statis. Ukuran paling umum di ruang bersih produksi mikroelektronika adalah pembumian, pengeluaran muatan statis oleh bahan konduktif atau disipatif, dan muatan statis pada konsumen terionisasi.
1 tanah
Ruangan yang bersih harus dilengkapi dengan sistem pembumian elektrostatik yang independen, termasuk sistem pendukung mesh logam yang ditanahkan dan sistem pendukung tanah untuk workstation (tahap). Sehingga selubung logam dari semua peralatan di dalam ruangan, braket logam dari peralatan bergerak, peralatan anti-statis, dll. Dengan aman dan efektif melepaskan muatan statis ke bumi, dan elektrifikasi pekerja dihubungkan ke tanah melalui tali pergelangan tangan, dan sepatu anti-statis atau tali tumit anti-statis. Tanah dibuang ke bumi. Tanah, dinding, langit-langit, partisi, dll. Memiliki ground yang keras, dan casing peralatan, peralatan bergerak (mobil, kursi, rak, dll.), Meja kerja, dll. Bersifat lunak.
2 ionisasi Xiao listrik
Tidak dapat dihindari bahwa akan ada beberapa konduktor terisolasi yang tidak dapat dihubungkan ke komponen, PCB, jalur produksi dan workstation di ruang bersih. Mengisolasi bahan dielektrik (seperti plastik paling umum), di beberapa lingkungan, konsumen ionisasi sering digunakan. Secara lokal menghilangkan muatan statis pada benda-benda ini, dan lebih sering melalui ionisasi udara untuk menetralkan muatan elektrostatik yang dibawa pada media isolasi dan pada konduktor terisolasi.
3 bahan disipatif statis dan statis konduktif
Bahan konduktif dan bahan disipatif statis juga merupakan bahan berdarah muatan statis yang baik karena konduktivitas elektrostatiknya, dan lebih aman daripada pendarahan konduktor logam. Mereka umumnya digunakan sebagai lantai, dinding, bangku kerja, dan wadah omset. Peralatan anti-statis seperti pinset dan kuas.
(5) Perlindungan terhadap ESD, perlindungan produk
Ini adalah langkah terakhir dalam kontrol tiga langkah listrik statis. Di ruang bersih produksi mikroelektronika, untuk mencegah ESD terjadi pada komponen atau komponen yang sensitif terhadap elektrostatis, PCB, salah satu metode adalah menyediakan landasan yang tepat untuk komponen dan komponen. Shunt adalah untuk "menghilangkan" muatan statis yang ada pada produk; metode kedua adalah menangani pengemasan dan pengangkutan perangkat yang sensitif terhadap elektrostatis dengan metode dan bahan pengemasan yang sesuai. Bahan-bahan ini secara efektif melindungi muatan agar tidak masuk ke dalam produk dan mengurangi pergerakan produk dalam kemasan untuk menciptakan muatan listrik statis.
Secara internasional, semikonduktor, layar kristal cair panel datar, optoelektronika berkembang pesat, dan integrasi semakin tinggi. 8 "12" chip muncul, diameter chip semakin tipis dan lebih tipis, dan persyaratan anti-statis semakin tinggi dan lebih tinggi, lihat Tabel 4.
Asosiasi ESD Amerika Serikat telah mulai merevisi baja kontrol pelepasan elektrostatik ANS ESD S20.20-1999, dan telah membuat beberapa modifikasi pada klasifikasi sensitivitas elektrostatik SSD, lihat Tabel 5, 6, dan 7.
Ini memberi pengguna komponen peringatan bahwa persyaratan kontrol lingkungan dapat diminta, baik orang atau peralatan yang diproduksi. Jika tegangan yang diizinkan di area EPA mencapai 25V, saya khawatir bahwa peralatan, peralatan, peralatan, dan teknik anti-statis yang ada harus bekerja keras.